СИНТЕЗ И ХАРАКТЕРИЗАЦИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ Nb2O5-MoN-AlN ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ
Аннотация
В работе представлены результаты оценки прочностных свойств многослойных тонкопленочных покрытий на основе соединений Nb2O5-MoN-AlN, полученных методом магнетронного напыления на поверхности стали марки 316 L. Выбор компонент для покрытий обусловлен возможностью повышения устойчивости к внешним воздействиям за счет высоких показателей прочностных характеристик данных покрытий, а также их структурных особенностей. С применением метода рентгенофазового анализа было установлено, что вариация количества слоев и компонент приводит к формированию аморфных покрытий. В качестве методов для определения прочностных характеристик были применены методы индентирования и определения коэффициента сухого трения. В случае нанесения двухкомпонентных многослойных покрытий, установлено, что твердость увеличивается на 10 – 20 %, а в случае трехкомпонентных покрытий увеличение твердости составило более чем 50 %. При испытаниях на износостойкость полученных покрытий было установлено, что нанесение на сталь марки 316 L двух-трехкомпонентных покрытий приводит к увеличению устойчивости к износу стали более чем в 7-10 раз, при этом профиль износа значительно меньше за счет высокой устойчивости покрытий к износу.
Автор
Д. Б. Боргеков
А. Л. Козловский
Д. И. Шлимас
А. Н. Бергузинов
DOI
https://doi.org/10.48081/QRBQ9000
Ключевые слова
магнетронное напыление
многослойные тонкопленочные покрытия
нитрид алюминия
твердость
упрочнение
Год
2023
Номер
Выпуск 4